自動薄膜厚度測量儀是一種非接觸式測量儀器，一般會運用在生產廠商大量生產產品的過程，由于誤差經常會導致產品全部報廢，這時候就需要運用自動薄膜厚度測量儀來介入到生產環境，避免這種情況的發生。由于是光學測量，在測量時候無須擔心破壞樣品，讓用戶簡單快速地測量薄膜的厚度和光學常數，通過對待測膜層的上下界面間反射光譜的分析，幾秒鐘內就可測量結果。
自動薄膜厚度測量儀的優點：
1.非接觸式測量
自動薄膜厚度測量儀采用的原理是通過光的反射原理對膜層厚度進行測量，屬于非接觸式測量方法，不會對樣品造成任何損傷，能夠保證樣品的完整性。
2.測量數據多樣
可以測得物體的膜厚度和n，k數據，這是其它類型的膜厚儀所不具備的特點。
3.測量快速
自動薄膜厚度測量儀的測量過程非常快速，因為該設備采用了先進的結構設計，能夠程度的提升測量效率，相比于其他類型膜厚測量設備來說顯得非常輕巧方便。
4.適用范圍廣
自動薄膜厚度測量儀的適用范圍非常廣泛，從普通家用到工廠的工業生產，再到大學實驗室和科學研究所，都可以看到它的身影，由此可見它的使用范圍極其廣泛，能夠作業的場合也變得更加多樣化。
